至纯科技上半年营收10.20亿元，加速电子材料领域布局

8月24日晚间，至纯科技披露2026年半年度报告。

报告期内，公司实现营业收入10.20亿元，同比下降36.57%；归母净利润-2.87亿元；经营活动产生的现金流量净额1.72亿元，由上年同期净流出5.63亿元转为净流入，现金流质量得到显著改善。

纵观上半年经营表现，公司处在“工艺-设备-材料”三位一体战略落地的关键周期。受半导体行业资本开支节奏扰动，高纯工艺系统大项目执行周期拉长、完工确认项目减少，叠加半导体湿法设备研发投入、电子大宗气体产能建设持续资本开支，公司阶段性经营承压。

从订单储备层面看，公司订单底盘进一步夯实，截至2026年6月末，公司在手订单144.55亿元（含长期订单），剔除长期订单后在手订单63.99亿元；对比2025年半年报，期末在手订单134.14亿元（含长期订单），剔除长期订单50.50亿元，在手订单规模实现明显增长。2026年上半年新增订单29.62亿元，较去年同期的17.25亿元，公司新增订单增长明显，集成电路领域订单占比高达92%，订单结构持续向头部晶圆厂集中，为后续业绩转化筑牢基础。

从资产负债表维度来看，报告期末公司合同负债达15.08亿元，较期初9.19亿元实现显著提升，反映下游客户项目预付款充沛，订单履约拥有坚实的客户资金背书，现金流保障能力得到进一步增强；存货项下未完工项目账面余额19.44亿元，存量规模充足，大量高纯工艺集成等项目正处于在建执行周期。在手订单、合同负债、未完工存货三项指标相互印证，公司存量项目储备厚实，为后续营收确认构筑较强业绩安全边际。

从单季度维度看，一季度实现营收6.21亿元，归母净利润-0.79亿元；二季度实现营收3.99亿元，归母净利润-2.08亿元，收入端受项目交付节奏影响有所回落，但经营现金流持续转正，回款体系建设成效显现，电子材料新业务板块高速成长成为核心看点。

根据半年报披露，公司三大业务板块呈现分化格局：电子材料（电子大宗气体）板块上半年实现营收2.04亿元，实现大幅增长，国产半导体大宗气体产能落地释放增量；半导体湿法清洗设备业务持续推进先进制程研发与客户验证；高纯工艺系统板块受项目确认节奏拖累收入下滑，百亿级在手大型项目将在后续周期逐步转化收入。

新赛道加速落地，材料业务成为增长新极

电子大宗气体业务拓展顺利，已形成稳定的长周期现金流业务曲线。报告期内，国内首座完全国产化适配28nm及以上制程的半导体级大宗气体供应工厂保持稳定运行，真正实现该制程国产自主大宗气站零的突破，打破海外厂商长期垄断格局。第二座面向12英寸量产线的大宗气站已经投产供气，两座气站随下游晶圆厂产能爬坡，持续输出持续性运营收入，区别于设备、集成项目一次性确认模式，气站运营能够为公司带来持续性、高韧性现金流回报。

除现场制气业务外，公司同步推进TGM气体管理、TCM化学品管理驻厂综合服务，腔体部件清洗业务完成客户端验证并逐步放量，从单纯气体供应延伸至晶圆厂厂区气体、化学品全链条运维服务，进一步拓宽业务边界，客户覆盖中芯国际、华虹、长鑫存储、晶合集成等国内主流晶圆制造企业，电子材料板块已经从孵化培育阶段迈入规模化商业兑现阶段。

在半导体湿法清洗设备赛道，子公司至微半导体构建起槽式、单片式完整设备产品矩阵，完成28nm节点全工艺机台开发并取得订单，高温硫酸 SPM、FINETCH、单片磷酸等多项长期被海外垄断的高端机台实现技术突破与量产验证。其中国产首台12英寸高温硫酸 SPM 设备单机累计加工晶圆超100万片次，量产稳定性得到产线验证；新一代S300D先进制程平台完成迭代，晶圆处理效率较上代提升30%，覆盖背面蚀刻、预清洗、斜边处理等多元工艺场景，适配逻辑、存储、先进封装多类客户需求。

高纯工艺系统集成业务作为公司传统基本盘，国内12英寸晶圆厂特气系统中标市占率接近47%，化学品系统市占率近30%，行业龙头地位稳固，深度绑定国内绝大多数头部晶圆制造产线。报告期收入下滑并非订单萎缩，而是行业趋势下项目体量持续大型化，大型综合项目建设、调试、验收周期显著拉长，上半年完工验收项目数量同比回落，直接拖累当期营收确认。依托百亿级在手订单储备，大量大型集成项目处在执行在建阶段，随着项目逐步完成调试验收，将在未来报告期持续释放收入。公司持续推进供应链国产化，特气、化学品配套核心设备部件自主化水平持续提升，有望优化该板块成本与盈利水平。

报告期内，公司持续推进提质增效，优化资产结构，处置部分非核心子公司，聚焦半导体设备、电子大宗气体、高纯工艺系统三大主业，集中资源投向高成长赛道，进一步理顺业务布局。

资本运作与人才激励并行，夯实中长期发展底盘

资本市场层面，公司推出股票期权激励计划，深度绑定核心管理与技术团队，匹配国产替代赛道人才竞争需求。本次激励计划拟授予股票期权1750万份，占公告日总股本4.57%，行权价格24.32元/股，激励对象合计218人，覆盖中高层管理人员、核心技术骨干，将个人行权条件与公司经营目标深度挂钩，强化核心人才与公司长期发展利益绑定，为技术迭代、业务扩张提供组织保障。

2026年上半年，至纯科技正处在战略转型、业务结构重塑的关键阶段，前瞻布局的投入使得财报呈现阶段性特征。传统业务受行业周期、项目确认节奏影响带来阶段性财报压力，但经营现金流大幅转正、在手订单规模较去年同期明显抬升，电子大宗气体新业务实现规模化放量、高端湿法设备持续完成技术突破。随着在建气体产能释放、在手大型项目逐步完成交付验收，叠加先进封装赛道带来的设备需求释放，公司未来业务有望迎来持续突破。

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